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Talysurf CCI三維形貌儀非接觸輪廓儀

Talysurf CCI三維形貌儀非接觸輪廓儀
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸,并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件,半導體器件,光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-04-13
  • 訪  問  量:2227
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產品詳情

Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸,并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件,半導體器件,光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。CCI2000 采用了良好的白光干涉技術。創新的**相關相干算法,通過建立模板,能夠計算出帶光源相干峰與相位的位置。無論是拋光表面還是粗糙表面,只要反射率超過 0.5%,就能夠被檢測。在非接觸表面三維測量中,CCI2000以100μm范圍內0.1nm的高分辨帶來不凡的立體成像效果。

泰勒白光干涉三維輪廓儀Talysurf CCI 2000

高精度、低噪音、百萬數據點、數字技術,泰勒霍普森公司白光干涉儀的問世,宣告著微 觀世界表面三維形貌時代到來。對于光學、半導體、微納米機械、汽車、醫藥、軸承等工業 而言,如果您需要非接觸的方法來檢測物體的三維表面形貌、表面粗糙度、臺階高度、微觀 三維尺寸,CCI2000 提供了完美的側向精度、納米級的分辨率、非接觸測量、三維形貌顯示, 是您理想的選擇。每當需要進行非接觸式高精度計量的理想方法來進行粗糙度,臺階高度或微觀尺寸測量時,泰勒·霍普森(Taylor Hobson)都能提供您期望的結果。 Talysurf CCI 2000具有寬的橫向范圍和埃分辨率,可為光學,MEMS,半導體,汽車,醫療和軸承行業的研究和制造提供無損3D測量。

泰勒白光干涉三維輪廓儀Talysurf CCI 2000數據分析工具 

。 以新參數定義的二維及三維數據顯示。 
。 面積與體積參數 
。 二維參數 120 個 
。 三維參數 40 個 
。 數據處理 
。 自動的臺階高度計算

可溯源的結果

。 我們采用可以溯源的樣塊,對側面方向與垂直方向進行標定。 
。 對于我們所測量的幾何的,空間的各種數據,都可以得到認證。

關鍵特性:

1.0Å垂直分辨率
2.0Å底噪
1,000,000個數據點
0.1ÅRMS重復精度
0.1%步重復性

 

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